长川科技获得实用新型专利授权:“吸嘴机构及其吸嘴模组”

才疏学浅

专利摘要:本申请涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种吸嘴机构及其吸嘴模组。一种吸嘴机构,包括:安装座,开设有贯穿设置的第一气孔,第一气孔用以连接气路;固定座,安装于安装座,且开设有气腔;第一固定轴,安装于气腔内,且开设有第二气孔,第二气孔与所述第一气孔连通;密封件,位于所述安装座和所述第一固定轴之间,用以密封所述安装座和所述第一固定轴之间的间隙;吸盘组件,用以取/放物料,所述吸盘组件的部分伸入所述气腔内,并与所述第一固定轴连接,且与第二气孔连通。一种吸嘴模组包括气缸以及吸嘴机构。本申请相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式,本申请提供的吸嘴机构的密封性更好,且能够避免漏气的情况发生。

今年以来长川科技新获得专利授权248个,较去年同期增加了106.67%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.43亿元,同比增23.94%。

数据来源:企查查

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