专利摘要：本申请涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种吸嘴机构及其吸嘴模组。一种吸嘴机构，包括：安装座，开设有贯穿设置的第一气孔，第一气孔用以连接气路；固定座，安装于安装座，且开设有气腔；第一固定轴，安装于气腔内，且开设有第二气孔，第二气孔与所述第一气孔连通；密封件，位于所述安装座和所述第一固定轴之间，用以密封所述安装座和所述第一固定轴之间的间隙；吸盘组件，用以取/放物料，所述吸盘组件的部分伸入所述气腔内，并与所述第一固定轴连接，且与第二气孔连通。一种吸嘴模组包括气缸以及吸嘴机构。本申请相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式，本申请提供的吸嘴机构的密封性更好，且能够避免漏气的情况发生。
今年以来长川科技新获得专利授权248个，较去年同期增加了106.67%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.43亿元，同比增23.94%。
数据来源：企查查
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