专利摘要：一种用于等离子体处理设备的升降环结构，包含隔离环、加热器组件和升降组件。将加热器组件设置在隔离环中，令隔离环快速升温。隔离环温度升高后，降低了聚合物在隔离环上的沉积概率，避免了聚合物剥落造成的工艺缺陷，增加了设备稳定运行的时间。加热器组件采用一体式铸造，通过射频接地组件实现有效接地和电磁屏蔽。对升降组件中的升降杆和固定件进行合理设置，通过在固定件上开设槽口或令固定件具有柔性形变能力，从而抵消升降杆和固定件之间的相对位移带来的影响，确保升降杆和固定件的稳定连接，避免了因热膨胀而引起的干涉。
今年以来中微公司新获得专利授权146个，较去年同期增加了329.41%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。
数据来源：企查查
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